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電子化學品輸送系統(tǒng)（CDS)
摘要：電子化學品輸送系統(tǒng)（CDS)
1, 化學品的種類：
Feeding-Style (充填式供酸系統(tǒng)):
H2SO4、KOH 、H2O2
? Drum-Style (桶酸式供酸系統(tǒng)):
HCl、HF、BHF、DBHF、HNO3、AD-10A，B、
TMY、H3PO4、SV-GBL、A-515、Mixed Acid
METHANOL 、THINNER 、ARC-THINNER 、N-396
2，化學品規(guī)格：
| Chemical | Assay | Name in Chinase |
| H2SO4 | 98% | 濃硫酸 |
| H2O2 | 35% | 雙氧水 |
| HNO3 | 70±1% | 硝酸 |
| Mix-Acid | HNO3:60±1% HF:7±0.5% | 混酸 |
| HCL | 36±1% | 鹽酸 |
| H3PO4 | Under 85% | 磷酸 |
| TMY | Choline 4±0.1% | 三甲基銨 |
| Chemical | Assay | Name In Chinese |
| HF | 49±0.2% | 氟酸 |
| BHF | NH4F:30±0.25% | 緩沖氟酸 |
| HF:6 ±0.2% | ( Buffer ) | |
| DBHF | NH4F:37.7 ±0.3% | 稀釋緩沖氟酸 |
| HF:3.2 ±0.1% | ( Dilute & Buffer ) | |
| N396 | Alkan 60 ±5% | 氧化膽堿 |
| Methanol | Under 99.9% | 甲醇 |
| AD-10 | TMAH 2.38 ±0.005% | 四甲基銨 |
| Thinner | Solvent PGMA 80±1% | 丙二醇甲醚 |
| Arc-Thinner | Cyclohexanone 99% | 環(huán)己酮 |
3,供應商列表：
| Chemical | CDS |
| Merck | Merck-Kanto |
| Mitsubishi | Mitsubishi |
| Tama | SCI(BOC Edward) |
| Ashland | Sumitomo |
| Fujiolin | ALE |
4，大流量化學品輸送系統(tǒng)：
5，小流量化學品輸送系統(tǒng)：
